Adroddwyd am y synthesis o silicon nitrid gyntaf ym 1857 gan Henri Edouard Saint-Claire Deville a Friedrich Wöhler. Yn eu synthesis, gosodwyd crucible yn cynnwys silicon mewn crucible wedi'i lenwi â charbon a'i gynhesu i leihau treiddiad ocsigen. Fe wnaethant adrodd am gynnyrch o'r enw silicon nitrid, ond nid oeddent yn gallu pennu ei gyfansoddiad cemegol.
Ym 1879, paratôdd Paul Schutzenberger y cynnyrch trwy wresogi silicon wedi'i gymysgu â deunydd leinin (past y gellir ei ddefnyddio fel leinin crucible, wedi'i wneud trwy gymysgu siarcol, brics glo neu golosg â chlai) mewn ffwrnais chwyth a'i adrodd fel cyfansawdd gyda'r cyfansoddiad Si3N4. Ym 1910, paratôdd Ludwig Weiss a Theodor Engelhardt Si3N4 trwy wresogi silicon elfennol mewn nitrogen pur. Ym 1925, synthesodd Friederich a Sittig nitrid silicon trwy wresogi silicon deuocsid a charbon mewn atmosffer nitrogen i 1250-1300 gradd gan ddefnyddio gostyngiad thermol o garbon.